SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀

簡(jiǎn)要描述：我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀允許定量化學(xué)濃度。全在線化學(xué)監(jiān)測(cè)能夠?qū)崟r(shí)校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。監(jiān)控工藝過(guò)程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量?？赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測(cè)時(shí)會(huì)立即顯現(xiàn)出來(lái)，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。

更新時(shí)間：2024-06-04
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
產(chǎn)品型號(hào)：
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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀

SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀為工程師提供了準(zhǔn)確性、可靠性和靈活性的過(guò)程監(jiān)控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿足更高的良率和容錯(cuò)的要求。在競(jìng)爭(zhēng)激烈的微電子工業(yè)中，如果不使用復(fù)雜的監(jiān)測(cè)和控制來(lái)確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。

我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀允許定量化學(xué)濃度。全在線化學(xué)監(jiān)測(cè)能夠?qū)崟r(shí)校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。

監(jiān)控工藝過(guò)程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量。可能影響產(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測(cè)時(shí)會(huì)立即顯現(xiàn)出來(lái)，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。

產(chǎn)品選項(xiàng)

• 多個(gè)樣本點(diǎn)

• 額外的5 mL數(shù)字滴定管

• 附加傳感器

• 安全聯(lián)鎖裝置

• 試劑低液位檢測(cè)

優(yōu)勢(shì)

• 增加工具產(chǎn)量

• 降低化學(xué)品成本

• 實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)控

• 降低批量損失

• 降低所有者成本

應(yīng)用

• 銅化學(xué)機(jī)械拋光

• 鎢化學(xué)機(jī)械拋光

• 濕法蝕刻

• 清潔

• DSP+

• 氮化物蝕刻

• PAN蝕刻

• 食人魚(yú)蝕刻

• HF

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 4個(gè)4-20 mA 模擬輸出

• 8個(gè)可編程繼電器

• 以太網(wǎng)和 RS232 串口

• 彩色觸摸屏

• 集成試劑儲(chǔ)存

• 單采樣點(diǎn)

• 1個(gè)5mL數(shù)顯滴定管

• 多個(gè)傳感器輸入

規(guī)格

分析方法	電位法/標(biāo)準(zhǔn)加入法/光度法
精確度¹	±0.2%顯示值
誤差度¹	0.2%相對(duì)誤差
測(cè)量時(shí)間	少于5分鐘/分析(取決于應(yīng)用)
校準(zhǔn)頻率	自開(kāi)始起²
樣品消耗量	小于 5 mL/次
樣品量	0.05 至 5 mL（取決于應(yīng)用）
樣品溫度	低于93℃(200℉)
耗水量	少于1000mL/次
樣品入口/返回	小于30 psi
	0.5升/分鐘
	1/4"外徑擴(kuò)口接頭
	1"FPT 密封聯(lián)軸器
去離子水	20-40 psi
	2升/分鐘
	1/4"外徑擴(kuò)口接頭
CDA	60-80 psi
CDA	1/4"外徑快速接頭
過(guò)程排放	3/4"NPT 重力排放
機(jī)箱排水	1/2"NPT 重力排放
電源	110 /220 VAC，50 /60 Hz，1 /0.5A 現(xiàn)場(chǎng)可切換
排水	1 7 /8" OD @ 17 CFM
外形尺寸	39.00"H x 27.00"W x 16.00"D

¹僅指“硬件"。應(yīng)用、化學(xué)和工藝條件等外部因素會(huì)影響系統(tǒng)準(zhǔn)確度和精密度。

²這不包括 pH 傳感器的校準(zhǔn)。有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱安裝和操作手冊(cè)。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實(shí)的，所表達(dá)的意見(jiàn)是合格專家對(duì)所進(jìn)行測(cè)試的結(jié)果的看法，這些數(shù)據(jù)不應(yīng)被視為 Entegris 承擔(dān)法律責(zé)任的保證或陳述。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗(yàn)證。對(duì)這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定，以符合聯(lián)邦、州和當(dāng)?shù)氐姆煞ㄒ?guī)。所有規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

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